Вакуумная арматура

Вакуумная арматура — трубопроводная арматура, обеспечивающая выполнение своих функций при рабочих абсолютных давлениях менее 0,1 МПа (1,0 кгс/см²). К ней относятся вспомогательные, обычно типовые устройства вакуумных систем, в том числе:

• вентили запорные и регулирующие;
• затворы — для перекрытия проходов с большим поперечным сечением;
• натекатели клапанного и игольчатого типов — для точного дозирования весьма малых количеств газа, или трубчатого типа, открывающие проток газа при нагревании капиллярной трубки;
• вводы электроэнергии, охлаждающей воды или жидких газов;
• окна смотровые — для наблюдения за процессами в вакууме, для вывода различных видов излучения;
• некоторые виды устройств для передачи в вакуумные объёмы механического движения;
• механические вакуумметры (другие типы вакуумметров составляют самостоятельную область техники).

От вакуумной арматуры требуется весьма высокая герметичность всех её деталей и соединений и очень малое отделение газа с её стенок и уплотнителей. Соединения арматуры низкого вакуума уплотняют прокладками из вакуумной резины, подвижные штоки — сальниковыми устройствами специальной конструкции. В системах высокого и сверхвысокого вакуума для подвижных штоков обычно применяются сильфоны; прокладки для арматуры сверхвысокого вакуума делают из специальных сортов термостойкой резины, некоторых видов пластмасс, пластичных металлов.

Привод вакуумных клапанов и затворов может быть ручным (обозначения соответственно КСВР, ЗСВР), электропневматическим (КСВП, ЗСВП), электромагнитным (КСВМ).

Проводимость вакуумной арматуры

Теоретическая (в молекулярном режиме) проводимость U, л/с, для воздуха (M = 28,8, T = 300 K) составляет:

• для вакуумных клапанов условным проходом d см, установочным размером по ГОСТ 25197 e см U = 12 , 2 d 3 2 e + 0 , 7 d {displaystyle U={12,2d^{3} over 2e+0,7d}} (0,7 — поправочный коэффициент),
• для вакуумных затворов условным проходом d см, строительной длиной H см U = 12 , 2 d 3 H {displaystyle U=12,2{d^{3} over H}} .

Течения газа в вязкостном и молекулярно-вязкостном режиме могут быть рассчитаны, исходя из теории подобия; для подобных геометрически систем проводимость зависит от площади сечения, соотношения эффективных длины и диаметра, показателя адиабаты газа, числа Kn, и в меньшей степени от чисел Re и M.